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电子束辐射技术脱硫脱硝的工艺流程是燃煤锅炉排出的烟气经除尘后，进入冷却塔，在塔中由喷雾水冷却到65~70℃，在烟气进入反应器之前，注入接近化学计量比的氨气，然后在反应器中接受高能电子束照射，使烟气中的N2、O2和水蒸气等发生辐射反应，生成大量的自由基、原子、电子和各种激发态的原子、分子等活性物质，它们将烟气中的SO2和NO氧化为SO3和NO2，这些高价的硫氧化物和氮氧化物与水蒸气反应生成雾状的硫酸和硝酸，这些酸再与事先注入反应器的氨反应，生成硫铵和硝铵，净化后的烟气经烟囱排放。

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